商品特性:

‧量測不確定度可達±0.2%讀值

‧穩定性高、校正速度快

‧已廣為半導體工業校正MFC所採用

‧操作簡便、提昇效率及投資效益

 

Molbox 是質量流量顯示計算單元,是整個質量流量校準系統的核心,是molbloc 端子的支援單元。Molbox 內裝兩個高精度絕壓傳感器,用以測量molbloc端子上游與下游壓力。

壓力傳感器可自動切換到不同的molbloc 上,以便molbox 支援多個molbloc。

Molbox 還可自動調零並對系統進行檢漏。

Molbox 支援RS-232 和IEEE-488 通訊,並可設定和讀取多種質量流量控制單元。

 

Molbox 功能︰

測量Molbloc 的壓力和溫度

壓力閥組系統

透過Molbloc 計算氣體質量流量

實時的流量值以及參數顯示

遠程數據界面界面RS-232 及IEEE-488

多種先進的實時測量與顯示功能

可測量類比質量流量控制單元(MFC)

根據應用、功能以及預算的不同, Molbox 有兩個型號: Molbox1 和Molbox RFM 可供選擇。

 

Molbox1 特點:

流量測量不確定度<0.2%讀數(10%~100%FS)

採用最精密的石英諧振壓力傳感器, 保證測量的準確、高分辨率以及長期穩定性

兩路流量測量可同時獨立進行(Chanel A_B)同時支援Chanel A+B 或者A/B 功能

集成了類比(電流或電壓)信號測量功能,以及多通道轉換開關選件支援多路測量

8 路閥門控制輸出支援




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