由於真空技術發展迅速,其應用之範圍也越來越廣泛,最具代表性的就是半導體相關產業,尤以半導體上游產業(如晶圓設計、生產、製造及封裝等)更大量引進了先進之真空技術,其中許多真空製程中如何確知混合氣體或蒸氣之成分是非常重要的,因此採用甚多之質量流量計( Mass Flow Meters );質量流量計(Mass Flow Meters)可說是種量測質量速率的一種裝置,此外在其它真空應用及部分真空校正工作中也常利用流量計來協助。

1.壓力: 對於流體而言,乃是指流體單位面積所受的力。

2.密度: 即流體單位體積的重量。

3.黏度: 指其對流動的物理阻力,流體的黏度受溫度的影 響,溫度上升時,液體的黏度隨之降低,但氣體的黏度恰好相反,隨溫度上升而增加。

4.速度: 指其在流動方向的速率,也就是流體在管路中流動的快慢。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表,在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用。質量流量計應用於氣體小流量測量,較多應用於半導體工業、處理爐、分析儀器等。目前市面上的流量計較偏向超聲波氣體流量計




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